(주)TS-Tech 티에스텍

GAS CABINET

VMB(Valve Manifold Box)

BUNDLE

기타 가스관련장비

비방폭

방폭

TS-TECH # GAS SUPPLY SYSTEM

GAS CABINET

Gas Supply System은 반도체, FPD, LED 그리고 Solar 제조 공정에 필요한 특수 가스를 일정한 유량과 압력으로 안전하게 공급하기 위해 설계된 장치입니다. 가스의 고압 또는 저압 상태를 공정상 필요로 하는 압력으로 조절하고 미세한 먼지의 발생 억제 및 제거와 누설을 방지여 고 청정도의 가스를 장시간 공급합니다. Gas Supply System은 운영비의 절감 및 반도체 제조 설비를 안전하게 유지시켜 주는 시스템 제어장치입니다.

OPTION

WEIGHT SCALE, HEATING LINE, UVIR, JACKET HEATER, HIGT TEMP SENSOR, VALVE SHUTTER, LEAK DETECTOR, LAMP

제품사양

시스템구성방식1 BOTTLE ~ 4 BOTTLE(방폭/비방폭 타입)
공급방식FULL AUTO TYPE, SEMI AUTO TYPE, MANUL TYPE
제어방식PLC & TOUCH SCREEN, PLC & PANEL METAL TYPE, ALL SWITCH TYPE
공급용량49Liter 이하 용기 MAX 40 SLPM
공급압력0.1 MPa ~ 0.9 MPa

비방폭

방폭

TS-TECH # GAS SUPPLY SYSTEM

VMB(Valve Manifold Box)

가스 밸브 매니폴드 박스(VMB)는 단일 소스 가스를 가져 와서 여러 공정장비에 배포하고 EXHAUST 및 PURGE 기능을 사용하여 VMB내에 안전한 공급 및 유지보수를 할 수 있도록 설계된 시스템 입니다.

OPTION

HEATING LINE, UVIR, HIGT TEMP SENSOR, LEAK DETECTOR, LAMP

제품사양

시스템구성방식1 x 4 STICK ~ 1 x 12 STICK, 2 x 4 STICK ~ 2 x 12 STICK
공급방식FULL AUTO TYPE, SEMI AUTO TYPE, MANUL TYPE
제어방식PLC & TOUCH SCREEN, PLC & PANEL METAL TYPE, ALL SWITCH TYPE
공급용량MAX 40 SLPM
공급압력0.1 MPa ~ 0.9 MPa

TS-TECH # GAS SUPPLY SYSTEM

BUNDLE

Bundle은 Gas Cabinet의 확장개념으로써 가스공급용량이 크거나 Gas Cylinder 교체 주기를 길게 관리 할 때에 용이합니다. 반도체, FPD, LED 그리고 Solar 제조 공정에 필요한 특수 가스를 일정한 유량과 압력으로 안전하게 공급하기 위해 설계된 장치입니다. 가스의 고압 또는 저압 상태를 공정상 필요로 하는 압력으로 조절하고 미세한 먼지의 발생 억제 및 제거와 누설을 방지여 고 청정도의 가스를 장시간 공급합니다. Bundle은 운영비의 절감 및 반도체 제조 설비를 안전하게 유지시켜 주는 시스템 제어장치입니다.

OPTION

WEIGHT SCALE, HEATING LINE, UVIR, JACKET HEATER, HIGT TEMP SENSOR, VALVE SHUTTER, LEAK DETECTOR, LAMP

제품사양

시스템구성방식3 x 3 BOTTLE ~ 4 x 4 BOTTLE
공급방식FULL AUTO TYPE, SEMI AUTO TYPE, MANUL TYPE
제어방식PLC & TOUCH SCREEN, PLC & PANEL METAL TYPE, ALL SWITCH TYPE
공급용량40 Liter ~ 200 Liter
공급압력0.1 MPa ~ 0.9 MPa

TS-TECH # GAS SUPPLY SYSTEM

기타가스장비

TS-Tech는 GAS SUPPLY SYSTEM장비 외 각종 가스공급장치 부속 장비를 취급하고 있습니다.

취급장비

PURGE RACK 각종 GAS 공급장치 및 공정장비 측에 GAS 배관 내부의 잔량제거 및 퍼지 목적으로 사용하는 시스템

VDS 공정장비 측에 한가지 GAS를 여러사용 구간에 공급을 위해서 분리 시켜주는 시스템

BSGS 대용량(BULK) 가스공급 장치로 "Y" 실린더 및 "TON" 실린더를 장착하여 공급하는 시스템

VALVE PANEL INERT GAS용으로 한가지 GAS를 여러구간에 공급을 할때 사용하는 시스템으로 INERT용 분기 시스템으로 사용한다.

각종 장비 SPOOL LINE GAS LINE 및 배관 제작

각종 전장 컨트롤러 & 판넬 제작 각종 자동화 용 전장 판넬 및 컨트롤러 주문 제작

고객과함께

성공하는미래

티에스텍

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TS-Tech 대표이사 홍성표

안녕하십니까.
저희 회사는 2013년 창업하여 꾸준히 성장하고 있으며 반도체장비 산업을 선도할 수 있는 최고의 기술력과 품질로 항상 고객님께최상의 품질로 만족감을 드릴 수 있는 안전하고 완벽한 제품을 제작하기 위하여 많은 임직원들과 함께 노력하고 보다 더 좋은 기술력을 위해서 연구하고 기존의 기술들을 보강하고 있습니다. 앞으로 고객 여러분들께 더 좋은 모습으로 동행하는 동반자 티에스텍이 되겠습니다. 저희 TS-Tech을 찾아 주셔서 감사합니다.

CORPOATE IDEOLOGY

고객과 함께하는 기업
안전하고 만족할 수 있는 최고의 제품
최고의 제품을 위해 연구하여 기존의 기술들을 보강하고 있습니다

B

BUSINESS

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"고객과 함께하는 미래"
안전하고 만족할 수 있는 최고의 기술을 제공합니다.
T

TECHNICAL

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"신뢰받는 안전한 제품"
안전하고 신뢰받는 제품을 만들기 위하여 규격에 맞는 기술인증을 받고 있습니다.

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